11BF3
产品名称：三氟化硼-11
纯度：99.9999% 6N
丰度：99.5%
包装规格：按需定制
产品介绍
三氟化硼-11产品介绍
三氟化硼(11BF3)等气体可以通过外延生长、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等关键工艺使硅材料(晶圆基底材料)具备半导体等光电性能,它决定了集成电路、半导体材料的性能、集成度、成品率,被称为半导体集成电路制造的“粮食”或“源”。还广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器等领域。
三氟化硼-11质量指标
| 项目 | 指标 |
| 11BF3 | ≥99.999% |
| CO | <0.5ppm |
| CO2 | <0.5ppm |
| N2 | <1ppm |
| O2 | <3ppm |
| SiF4 | <2ppm |
| SO2 | <2ppm |
| 硫酸盐(Sulfates) | <0.5ppm |
| THC(以甲烷计) | <0.5ppm |
三氟化硼-11应用领域
广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等领域。
